氦質(zhì)譜檢漏儀設(shè)備內(nèi)芯制造借鑒國外技術(shù)，具有靈敏度高，反應(yīng)快，開機時間短等特點，是一款液晶觸摸彩屏顯示的全自動氦質(zhì)譜檢漏儀。檢漏時噴在漏孔處停留的時間應(yīng)為儀器響應(yīng)時間的3倍，該時間再加上氦氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時間，即為兩次噴氦的較小間隔時間，當然真空系統(tǒng)越龐大，該間隔時間也越長。檢漏儀高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
航天技術(shù)的不斷發(fā)展， 泄漏問題已經(jīng)成為航天產(chǎn)品設(shè)計制造中必須考慮的關(guān)鍵因素，越來越多的收到各方關(guān)注，相關(guān)電子元器件漏率檢測已經(jīng)引起科研人員的高度重視，目前應(yīng)用檢漏技術(shù)的主要是為密封繼電器、集成電路 外殼。.利用氫質(zhì)譜檢漏儀可以方便地對密封繼電器作漏率測定。針對不同的產(chǎn)品，采用合適的檢漏方法。目前密封繼電器的漏率檢測主要是GJB360A-96的112實驗程序。
氦質(zhì)譜檢漏儀使用氦氣作為示蹤氣體，氦是單原子稀有氣體分子，在空氣中的含量(5.2ppm), 無色、無味，常溫下為氣態(tài)的惰性氣體，極不活潑，既不能燃燒，也不助燃，化學(xué)性能穩(wěn)定。在檢測器件的密封性能時，遇到器件大漏時，有大量的氦氣進入氦質(zhì)譜檢漏儀，短時間內(nèi)儀器內(nèi)部氦氣難以清除，造成儀器的本底升高，儀器的檢測靈敏度降低，影響儀器的再次檢測精度。
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