氦氣是較輕的惰性氣體，在噴出時(shí)會(huì)自動(dòng)上升，為了準(zhǔn)確找到漏孔位置噴氦，使用此方法時(shí)噴氦自上而下，由近至遠(yuǎn)（相對(duì)檢漏儀的位置），這是因?yàn)樵谙路綍r(shí)有可能被上方漏孔吸入；氦質(zhì)譜檢漏方法 以其高靈敏度和準(zhǔn)確性而通常應(yīng)用于整體防漏等級(jí)較高的壓力容器上。 氦檢方法基本上可分為用氦氣內(nèi)部加壓法和 設(shè)備內(nèi)部抽真空外部施氦這兩種。對(duì)于分裝或總裝，采用吸入法。被檢工件沖入氦-氮混合氣體，利用被檢工件裝配面或疑是漏點(diǎn)進(jìn)行找漏。檢漏儀顯示數(shù)值超過規(guī)定值即為有漏。
尋求一種合適的檢漏方法，對(duì)汽輪機(jī)真空系統(tǒng)進(jìn)行行之有效的檢漏和堵漏工作，提高機(jī)組的真空嚴(yán)密性及真空已成為改善機(jī)組運(yùn)行狀況、節(jié)能降耗以及機(jī)組安全運(yùn)行的一項(xiàng)重要工作。 氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是一種 應(yīng)用于國(guó)內(nèi)外對(duì)真空容器檢漏的先進(jìn)技術(shù)，氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)的高靈敏度和無損性早已成功地應(yīng)用于航天、電子、制冷等領(lǐng)域。應(yīng)用氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)對(duì)火電廠汽輪機(jī)真空系統(tǒng)進(jìn)行檢漏的方法，近幾年已在電力生產(chǎn)中逐漸推廣應(yīng)用。
氦質(zhì)譜檢漏儀用于對(duì)容器或器件的密封性進(jìn)行檢測(cè)，對(duì)被檢件泄漏點(diǎn)進(jìn)行定性、定量和定位的檢測(cè)。儀器利用內(nèi)置的真空系統(tǒng)，將被檢氣體抽入到儀器內(nèi)部，然后將該混合氣體離化，并將離子加速送入磁場(chǎng)當(dāng)中，利用帶電離子在磁場(chǎng)中的偏轉(zhuǎn)效應(yīng)，使氦離子與其它離子分離，通過對(duì)此氦離子信號(hào)的接收、放大和顯示，從而反映出被測(cè)器件的密封性。
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