質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)入室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進(jìn)入磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達(dá)接收極而被檢測。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到僅對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦氣檢漏儀特有的清氦系統(tǒng)，快速有效地清除超標(biāo)的氦本底，保證檢測的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性；實(shí)時監(jiān)測氦氣壓力和濃度，保證了工件檢測的精度；
實(shí)驗(yàn)程序中明確規(guī)定了密封繼電器的檢漏條件及步驟，本次主要討論背壓法檢漏屬于檢漏步驟中的細(xì)檢漏。繼電器的背壓檢漏法一般分為三步: 1加氦壓:將被檢繼電器放入充氦的壓力罐中; 2凈化:從壓力罐中取出繼電器，用氮?dú)饬骰蛘呖諝饬鞔祪衾^電器表面吸附的氦氣。3檢漏:將繼電器放入檢漏儀的檢漏盒中進(jìn)行檢測，若繼電器有漏，壓入內(nèi)腔的氦氣會經(jīng)過漏孔進(jìn)入檢漏儀，儀器上會有漏率顯示。
氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。檢漏儀自動化程度高：自動校準(zhǔn)氦峰，自動調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。氦質(zhì)譜檢漏儀由微機(jī)控制，菜單的選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。檢漏儀高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
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