檢漏設(shè)備：質(zhì)譜檢漏儀之間使用金屬軟管連接。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)在校驗后使用并在檢漏期間每 1- 2 小時校驗。檢漏的方式是：鏈接被檢化工管道和真空泵組以及氦質(zhì)譜檢漏儀，用真空泵組把管道抽真空，達到一定真空度。氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：航空航天——燃料箱、油箱、及各種電機等；儀表制造——壓力傳感器、閥門、波紋管和密封焊接件等。
氦質(zhì)譜檢漏儀是用示蹤氣體氦氣的專門用于檢漏的儀器，它性能穩(wěn)定，靈敏度高，是真空檢漏技術(shù)中較成熟的設(shè)備，使用比較普遍的檢漏儀。為工廠作業(yè)人員的安全以及環(huán)境保護，氦質(zhì)譜檢漏儀成為化工管道檢漏的的選擇。氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備因氦比空氣輕，因此要注意檢漏的順序，檢查順序應(yīng)依照由下而上， 由近而遠的順序進行。對檢漏方法的要求：穩(wěn)定性好，即可以在足夠長時間內(nèi)靈敏度；所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；
檢漏的方式是：鏈接被檢化工管道和真空泵組以及氦質(zhì)譜檢漏儀，用真空泵組把管道抽真空，達到一定真空度。氦質(zhì)譜檢漏法由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對各種試件的適應(yīng)性以及無破壞性，使其廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀在管道檢測方面有兩種檢測方法，負壓法和正壓法，一般化工管道采用的是負壓法。負壓法就是常說的抽真空，這是氦質(zhì)譜檢漏儀常用的檢漏方法。
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