消費者應用這種氦質譜檢漏儀能夠從根本上保證這種產品擁有良好的應用價值，在我國更多的產品漏率檢查之中原先更好的技術支持，因此氦質譜檢漏儀的優(yōu)勢更保證了我國產品漏問題檢查的質量。檢漏儀全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。氦質譜檢漏方法在真空檢漏技術領域里已經得到廣泛的應用,這種方法的優(yōu)點是:檢漏靈敏度高,可以檢漏到10 -11 Pam3 / s 數(shù)量級,儀器響應快,
為了避免串液故障發(fā)生，需要對導流區(qū)域和二道密封區(qū)域進行氦質譜檢漏。 采用真空法進行檢漏時，采用水環(huán)泵、旋片泵、不銹鋼波紋管、球閥、節(jié)流閥組建真空系統(tǒng)。首先使用水環(huán)泵抽真空，然后充入氮氣，再次使用水環(huán)泵抽真空，反復幾次對換熱器內部抽出水蒸氣和粉塵。使用工業(yè)吸塵器對換熱器外表面除塵和干燥。使用旋片泵抽真空和氮氣置換的方式對換熱器內部進一步干燥。干燥后在管熱管抽真空后，在的漏點噴氦氣，觀察氦檢儀顯示情況。對漏點進行堵漏。
檢漏儀的響應時間會影響檢漏工作的速度，正常運行的儀器響應時間不大于3s。筆者實測時，在漏點處噴射氦氣5～10s后，檢漏儀就發(fā)生響應，對于如此龐大的真空系統(tǒng)，其反應是相當?shù)撵`敏。用于電廠檢漏的氦質譜檢漏儀。關鍵部件均為進口，性能。不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。質譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經漏孔進入室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進入磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。
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