氦氣是較輕的惰性氣體，在噴出時會自動上升，為了準(zhǔn)確找到漏孔位置噴氦，使用此方法時噴氦自上而下，由近至遠(yuǎn)（相對檢漏儀的位置），這是因為在下方時有可能被上方漏孔吸入；氦質(zhì)譜檢漏方法 以其高靈敏度和準(zhǔn)確性而通常應(yīng)用于整體防漏等級較高的壓力容器上。 氦檢方法基本上可分為用氦氣內(nèi)部加壓法和 設(shè)備內(nèi)部抽真空外部施氦這兩種。對于分裝或總裝，采用吸入法。被檢工件沖入氦-氮混合氣體，利用被檢工件裝配面或疑是漏點進(jìn)行找漏。檢漏儀顯示數(shù)值超過規(guī)定值即為有漏。
測試時，將定量的氦氣噴吹在懷疑可能泄漏的部位，通過觀察檢漏儀上的漏率顯示來確定該部位是否存在泄漏及泄漏程度的大小。由于真空系統(tǒng)比較龐雜，影響真空的因素多，對此我們在試驗前，應(yīng)先根據(jù)真空嚴(yán)密性的試驗情況、相關(guān)系統(tǒng)及設(shè)備的運行情況、機組的檢修情況等進(jìn)行了解分析，初步判斷真空泄漏可能發(fā)生的設(shè)備或系統(tǒng)管道的位置。然后，在試驗過程中先對重點懷疑泄漏部位進(jìn)行檢查，再對其他部位按照分系統(tǒng)、分段、逐個設(shè)備部件進(jìn)行排查。
氦質(zhì)譜檢漏儀是用示蹤氣體氦氣的專門用于檢漏的儀器，它性能穩(wěn)定，靈敏度高，是真空檢漏技術(shù)中較成熟的設(shè)備，使用比較普遍的檢漏儀。為工廠作業(yè)人員的安全以及環(huán)境保護(hù)，氦質(zhì)譜檢漏儀成為化工管道檢漏的的選擇。氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備因氦比空氣輕，因此要注意檢漏的順序，檢查順序應(yīng)依照由下而上， 由近而遠(yuǎn)的順序進(jìn)行。對檢漏方法的要求：穩(wěn)定性好，即可以在足夠長時間內(nèi)靈敏度；所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；
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