氦質(zhì)譜檢漏儀是如何工作的? 氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、、真空系統(tǒng)、電子線路及其他電氣部分組成。為了方便解釋氦質(zhì)譜檢漏儀是如何工作的, 我們以磁偏轉(zhuǎn)型的氦質(zhì)譜檢漏儀為例進(jìn)行說明。 在質(zhì)譜室的離子源N內(nèi)，氣體被電離成離子。在電場作用下離子聚焦成東，并以-定的速度經(jīng)由縫隙S1進(jìn)入磁分析器，在均勻磁場的作用下，具有-定速度的離子束，將按圓形軌跡運(yùn)動。調(diào)節(jié)加速電壓U使氦離子束M z恰能通過縫隙S2到達(dá)收集極K而形成離子流。利用弱電流量測設(shè)備，使之在輸出儀表與音響裝置上反映出來。而其他不同于M2的離子束則以不同的偏轉(zhuǎn)半徑而被分開。
氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。檢漏儀自動化程度高：自動校準(zhǔn)氦峰，自動調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。氦質(zhì)譜檢漏儀由微機(jī)控制，菜單的選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。檢漏儀高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
檢漏的方式是：鏈接被檢化工管道和真空泵組以及氦質(zhì)譜檢漏儀，用真空泵組把管道抽真空，達(dá)到一定真空度。氦質(zhì)譜檢漏法由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對各種試件的適應(yīng)性以及無破壞性，使其廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀在管道檢測方面有兩種檢測方法，負(fù)壓法和正壓法，一般化工管道采用的是負(fù)壓法。負(fù)壓法就是常說的抽真空，這是氦質(zhì)譜檢漏儀常用的檢漏方法。
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