檢漏步驟為: 若步驟1和2均未檢出漏點(diǎn)，就要考慮各個(gè)真空泵性能的問題，首要檢查機(jī)械泵油、羅茨泵油是否缺少，如果泵油缺少會(huì)大大降低泵的抽氣性能，其次檢查機(jī)械泵的閥片,通過向機(jī)械泵排氣口噴吹氦氣來檢測其閥片的密封性。擴(kuò)散泵油或擴(kuò)散泵加熱器異常也會(huì)造成極限壓不合格。還應(yīng)檢查真空計(jì)是否準(zhǔn)確以及真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)是否滿足技術(shù)要求。
航天技術(shù)的不斷發(fā)展， 泄漏問題已經(jīng)成為航天產(chǎn)品設(shè)計(jì)制造中必須考慮的關(guān)鍵因素，越來越多的收到各方關(guān)注，相關(guān)電子元器件漏率檢測已經(jīng)引起科研人員的高度重視，目前應(yīng)用檢漏技術(shù)的主要是為密封繼電器、集成電路 外殼。.利用氫質(zhì)譜檢漏儀可以方便地對(duì)密封繼電器作漏率測定。針對(duì)不同的產(chǎn)品，采用合適的檢漏方法。目前密封繼電器的漏率檢測主要是GJB360A-96的112實(shí)驗(yàn)程序。
化鋰吸收式制冷機(jī)是以熱能為動(dòng)力，水和化鋰水溶液為工質(zhì)對(duì)的低耗電，低噪音的環(huán)保型制冷機(jī)。利用水在真空狀態(tài)下，較低溫度就可以蒸發(fā)的原理，制取冷水。主要有蒸汽型，燃油型，高低溫水型，高溫水大溫差型，冷溫水同時(shí)供給型，廣泛用于樓宇，制造行業(yè)的制冷采暖系統(tǒng)。 化鋰吸收式制冷機(jī)對(duì)于機(jī)體內(nèi)部氣密性要求很高，若機(jī)體內(nèi)部有微量的不凝性氣體，會(huì)對(duì)機(jī)器性能產(chǎn)生嚴(yán)重影響。在制冷量嚴(yán)重降低的同時(shí)，容易對(duì)機(jī)體產(chǎn)生巨大的腐蝕，產(chǎn)生鐵銹，銅銹并容易對(duì)噴嘴，泵體，過濾器造成堵塞。所以對(duì)于化鋰吸收式制冷機(jī)來說，檢漏是的。
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