真空檢漏 向各個加熱電極、爐體水套等通水腔體內噴吹氦氣檢查泄漏情況。若檢漏多遍后升壓率仍不合格，可以用塑料布、膠帶對的焊口、法蘭連接處、熱電偶、電極等處進行包裹罩封,然后向罩中噴入氮氣，觀察檢漏儀的漏率變化,如果緩慢上升,說明被包裹的位置存在漏點。 極限壓力不合格，升壓率合格 這種情況原因通常出現(xiàn)在粗抽閥到機械泵部分的各個連接管路的焊口及法蘭連接或真空泵本身性能。
測試時，將定量的氦氣噴吹在懷疑可能泄漏的部位，通過觀察檢漏儀上的漏率顯示來確定該部位是否存在泄漏及泄漏程度的大小。由于真空系統(tǒng)比較龐雜，影響真空的因素多，對此我們在試驗前，應先根據(jù)真空嚴密性的試驗情況、相關系統(tǒng)及設備的運行情況、機組的檢修情況等進行了解分析，初步判斷真空泄漏可能發(fā)生的設備或系統(tǒng)管道的位置。然后，在試驗過程中先對重點懷疑泄漏部位進行檢查，再對其他部位按照分系統(tǒng)、分段、逐個設備部件進行排查。
氦氣是較輕的惰性氣體，在噴出時會自動上升，為了準確找到漏孔位置噴氦，使用此方法時噴氦自上而下，由近至遠（相對檢漏儀的位置），這是因為在下方時有可能被上方漏孔吸入；質譜檢漏儀之間使用金屬軟管連接。氦質譜檢漏儀應在校驗后使用并在檢漏期間每 1- 2 小時校驗。常用的傳統(tǒng)氣體管道檢漏方法，如氣泡法和肥皂法在化工廠等有害氣體的管道檢漏不實用，檢測到微漏的氦質譜檢漏儀成為了化工廠安全生產作業(yè)的保障。
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