檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測(cè)泄漏的自動(dòng)化設(shè)備，其工作原理主要基于以下三個(gè)步驟：
1.首先將待測(cè)液體放入被測(cè)試件中。然后啟動(dòng)真空泵開始抽氣，當(dāng)容器內(nèi)的壓力降低到與大氣壓平衡時(shí)即達(dá)到了吸液時(shí)間T1階段；此時(shí)打開進(jìn)液閥向試品內(nèi)注入已知準(zhǔn)確體積V0的被測(cè)液體至預(yù)設(shè)充滿度hmax（通常為95%-98%）。關(guān)閉進(jìn)液閥門和儲(chǔ)液器開關(guān)后進(jìn)入保壓試驗(yàn)P2階段;經(jīng)過一定時(shí)間的穩(wěn)態(tài)工藝過程操作，使含有缺陷的內(nèi)藏式盲孔型泄露體的容積逐步縮小直至完全封閉而達(dá)到預(yù)定的密封狀態(tài)。
2.在此期間由流量計(jì)輸出的信號(hào)或計(jì)算機(jī)記錄下單位時(shí)間內(nèi)通過取樣針頭所排出的液量ΔV,據(jù)此計(jì)算出平均流速n=ΔV/t(ml/min)。然后根據(jù)公式ΔP=kπ·d2·Ll(k為經(jīng)驗(yàn)系數(shù)、d為標(biāo)準(zhǔn)元件直徑、Pl為液體密度)算出工作壓力差ΔPb;將上述數(shù)據(jù)及分析結(jié)果送回微機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理并顯示曲線圖。如發(fā)現(xiàn)有不合格產(chǎn)品應(yīng)立即停止對(duì)該產(chǎn)品的處理以保證產(chǎn)品質(zhì)量和維護(hù)生產(chǎn)廠家聲譽(yù)。
3.當(dāng)對(duì)一個(gè)工位上的所有零件都進(jìn)行了以上全部工序之后就可以切斷電源開啟水霧對(duì)著已連接好的管道噴灑清洗即可完成整個(gè)加注過程的檢驗(yàn)。
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測(cè)設(shè)備，利用了氦氣的流動(dòng)性和質(zhì)量大于氮?dú)?、氧氣等氣體這一特性。
該系統(tǒng)的是He特性的性及N2-Ar混合物的配比關(guān)系，對(duì)于壓力范圍0.5~8大氣壓，在很小的泄露量下就能探測(cè)出來（小于1Pa·m3/s）。此外還配備了真空泵對(duì)測(cè)試工件進(jìn)行抽空處理，將工作空間的工作壓力降低到規(guī)定的要求參數(shù)值內(nèi)；電器控制系統(tǒng)負(fù)責(zé)整個(gè)試驗(yàn)過程的操作和調(diào)節(jié)控制；而示差式電路不但能根據(jù)被測(cè)樣品放出的低頻成分來校正測(cè)量結(jié)果而且還能使儀表具有自動(dòng)反吸功能。
真空箱氦檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測(cè)和測(cè)量真空容器內(nèi)氣體是否含有氦氣的設(shè)備。它通過將氦氣充入真空容器內(nèi)，然后抽出容器內(nèi)的空氣，檢測(cè)其是否含有氦氣來實(shí)現(xiàn)檢漏。系統(tǒng)通常由氦氣發(fā)生器、氦氣檢測(cè)器和真空系統(tǒng)等組成。氦氣發(fā)生器可以產(chǎn)生高純度的氦氣，氦氣檢測(cè)器用于檢測(cè)容器內(nèi)的氦氣濃度，真空系統(tǒng)用于保持真空環(huán)境。真空箱氦檢漏系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、太陽能、電子、真空鍍膜等行業(yè)，可以用于檢測(cè)和測(cè)量真空容器內(nèi)的氣體是否含有氦氣，確保產(chǎn)品質(zhì)量和安全生產(chǎn)。
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