檢漏步驟為: 若步驟1和2均未檢出漏點，就要考慮各個真空泵性能的問題，首要檢查機械泵油、羅茨泵油是否缺少，如果泵油缺少會大大降低泵的抽氣性能，其次檢查機械泵的閥片,通過向機械泵排氣口噴吹氦氣來檢測其閥片的密封性。擴散泵油或擴散泵加熱器異常也會造成極限壓不合格。還應(yīng)檢查真空計是否準(zhǔn)確以及真空系統(tǒng)設(shè)計是否滿足技術(shù)要求。
尋求一種合適的檢漏方法，對汽輪機真空系統(tǒng)進行行之有效的檢漏和堵漏工作，提高機組的真空嚴(yán)密性及真空已成為改善機組運行狀況、節(jié)能降耗以及機組安全運行的一項重要工作。 氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是一種 應(yīng)用于國內(nèi)外對真空容器檢漏的先進技術(shù)，氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)的高靈敏度和無損性早已成功地應(yīng)用于航天、電子、制冷等領(lǐng)域。應(yīng)用氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)對火電廠汽輪機真空系統(tǒng)進行檢漏的方法，近幾年已在電力生產(chǎn)中逐漸推廣應(yīng)用。
一般檢漏都采用氦氣(He)作為示漏氣體，但也有用氫氣(H)作為示漏氣體的，考慮到它的化學(xué)性質(zhì)及危險性，在應(yīng)用中較少使用，所以實際大部分檢漏使用的都是氦氣。氦氣檢漏儀可同時檢測多工件，并能按照需求自動判斷出具體的有漏工件；定制的的密封接頭，，減少誤判。主要配置：檢漏儀分子泵。機械泵或者干泵。定制檢漏儀電磁閥。內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏口。 放大器。質(zhì)譜模塊。
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