檢漏步驟為: 若步驟1和2均未檢出漏點(diǎn)，就要考慮各個真空泵性能的問題，首要檢查機(jī)械泵油、羅茨泵油是否缺少，如果泵油缺少會大大降低泵的抽氣性能，其次檢查機(jī)械泵的閥片,通過向機(jī)械泵排氣口噴吹氦氣來檢測其閥片的密封性。擴(kuò)散泵油或擴(kuò)散泵加熱器異常也會造成極限壓不合格。還應(yīng)檢查真空計(jì)是否準(zhǔn)確以及真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)是否滿足技術(shù)要求。
儀器工作在穩(wěn)定的狀態(tài)，在儀器的檢漏口噴一定量的氦氣， 分別采取持續(xù)抽、空氣清氦、氮?dú)馇搴さ那搴し绞?，儀器再按開始鍵，記錄清氦所需時(shí)間。而通過實(shí)驗(yàn)表明，利用氮?dú)鈦砬搴さ男适歉叩摹?鑒于儀器在檢漏的過程中氮?dú)馇搴さ膬?yōu)越性，對儀器的系統(tǒng)進(jìn)行改進(jìn)。增加清氦電磁閥。在氦質(zhì)譜檢漏儀中增加氮?dú)馇逑丛O(shè)置，有效的避免了在檢漏過程中，氦氣殘留對儀器檢測靈敏度的影響，另外儀器控制中還可以增加大漏保護(hù)設(shè)置，即儀器在檢測到大漏時(shí)，儀器自動停止，防止大量氦氣再進(jìn)入儀器中。再者將前級泵換成干泵也是不錯的選擇，利于對儀器的清氦，保證儀器檢測的高靈敏度。
檢漏儀對示漏氣體的要求：在空氣環(huán)境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體，滿足檢漏靈敏度方面的要求，減少本底干擾檢測的準(zhǔn)確性。氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)指標(biāo)：1. 小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率顯圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦氣檢漏儀可對使用過程中產(chǎn)生的濃度不合格氦氣進(jìn)行提純，極大降低氦氣損耗（功能可選）。
在線客服
400-886-1758
