氦檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測和測量氣體泄漏的設(shè)備，通常由一個或多個氣密性容器、傳感器和控制單元組成。其主要用于航空航天領(lǐng)域和其他需要高精度測量的行業(yè)。
主要功能包括：首先是可以確定被測物體的泄露量；其次可以實時監(jiān)測并記錄測試數(shù)據(jù)以備查詢歷史數(shù)據(jù)的方便快捷操作界面設(shè)計；是可以通過對壓力信號的分析處理來確定密封容器的質(zhì)量狀態(tài)及生產(chǎn)過程中影響產(chǎn)品質(zhì)量的各種因素.通過對這些參數(shù)的變化進行分析判斷出產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性,并及時發(fā)出報警提示操作者作出相應(yīng)的調(diào)整措施或者直接把有問題的零件篩選出來從而保證產(chǎn)品的質(zhì)量和合格率達到100%.
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測設(shè)備，主要用于真空系統(tǒng)中微小滲漏的查找和定位。它主要由主機、進氣管道組件、離子源、收集極、高壓電源、探測器等部分組成。
該系統(tǒng)的功能是利用高速流動的高純度惰性氣體（通常是氮或）流將待測區(qū)域與外部環(huán)境隔離，如果存在泄的話，那么在壓力梯變的影響下空氣中的分子會從有縫隙的地方跑出去形成氣泡，從而產(chǎn)生聲學信號或者叫作粒子束，通過測量這個聲音可以確定具體的漏洞位置以及大小等信息。這種技術(shù)對各種材料均不敏感而且對于很小的體積也可以進行準確的測定，因此廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中硅片芯片封裝環(huán)境的監(jiān)測以防止晶圓損傷；也應(yīng)用于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線上檢查每個密封件是否有缺陷。
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測設(shè)備，利用了氦氣的流動性和質(zhì)量大于氮氣、氧氣等氣體這一特性。
該系統(tǒng)的是He特性的性及N2-Ar混合物的配比關(guān)系，對于壓力范圍0.5~8大氣壓，在很小的泄露量下就能探測出來（小于1Pa·m3/s）。此外還配備了真空泵對測試工件進行抽空處理，將工作空間的工作壓力降低到規(guī)定的要求參數(shù)值內(nèi)；電器控制系統(tǒng)負責整個試驗過程的操作和調(diào)節(jié)控制；而示差式電路不但能根據(jù)被測樣品放出的低頻成分來校正測量結(jié)果而且還能使儀表具有自動反吸功能。
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