檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測和診斷管道泄漏的設備和技術。它通過檢測流體中的泄漏來確定管道是否存在泄漏。檢漏系統(tǒng)通常由傳感器、控制器和執(zhí)行器組成，其中傳感器用于檢測流體泄漏，控制器用于控制和調(diào)節(jié)流體流量，而執(zhí)行器則用于執(zhí)行修復或關閉泄漏的操作。檢漏系統(tǒng)廣泛應用于石油、、化工、電力和煤炭等行業(yè)，可以有效地減少泄漏對環(huán)境和人類健康的危害，提高生產(chǎn)效率和安全性。
氦檢漏系統(tǒng)主要用于檢測工業(yè)設備中的微量泄漏。它采用高純度惰性氣體——氦氣作為示蹤介質(zhì)，通過測量其壓力變化來評估設備的密封性能。該系統(tǒng)的應用范圍廣泛，包括但不限于：
*航空航天、領域的關鍵部件或精密儀器；
*壓力容器和管道的在線監(jiān)測與維護保養(yǎng)等；
*在汽車制造行業(yè)中用于檢查發(fā)動機燃油系統(tǒng)和剎車管路的泄露情況以及在空調(diào)制冷系統(tǒng)中查驗是否存在微小滲漏。
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測設備，主要用于真空系統(tǒng)中微小滲漏的查找和定位。它主要由主機、進氣管道組件、離子源、收集極、高壓電源、探測器等部分組成。
該系統(tǒng)的功能是利用高速流動的高純度惰性氣體（通常是氮或）流將待測區(qū)域與外部環(huán)境隔離，如果存在泄的話，那么在壓力梯變的影響下空氣中的分子會從有縫隙的地方跑出去形成氣泡，從而產(chǎn)生聲學信號或者叫作粒子束，通過測量這個聲音可以確定具體的漏洞位置以及大小等信息。這種技術對各種材料均不敏感而且對于很小的體積也可以進行準確的測定，因此廣泛應用于半導體工業(yè)中硅片芯片封裝環(huán)境的監(jiān)測以防止晶圓損傷；也應用于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線上檢查每個密封件是否有缺陷。
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