氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測設(shè)備，其原理基于帶電粒子在磁場中的偏轉(zhuǎn)以及氣體分子對電磁輻射的吸收。該系統(tǒng)的部件是氦離子源和質(zhì)譜儀。
當(dāng)需要檢查的對象內(nèi)部存在微小壓力時，可以使用液態(tài)惰性氣體作為示蹤劑（例如：氦氣），通過管道進入待測對象內(nèi)并被稀釋到很低濃度后從密封區(qū)域中逸出形成一定的背景放散率Rb。此時可以通過測量總釋放量Ra來判斷泄露是否發(fā)生，若Ra>Rb+ΔR且ΔR足夠小時則認為發(fā)生了泄露[1]。
真空箱氦檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測產(chǎn)品泄漏率的設(shè)備。其工作原理主要包括以下幾個步驟：
1.首先，將待測物品放入真空氣密腔內(nèi)，氣密腔由被抽空的內(nèi)室和連接的管道組成；其中，在內(nèi)室的頂部裝有頂針機構(gòu)，當(dāng)需要放氣時可通過控制電路打開頂針使氣體進入大氣中排放到室外或通過冷凝回收裝置進行收集處理。在進氣管上還設(shè)有壓力表、電磁閥與充注等附件供操作人員在試驗前對氣壓進行檢查和控制以及向氣路系統(tǒng)中充入惰性保護氣體。2.然后啟動增壓泵開始抽出測試倉的壓力至0.5-0.6KPa(5-6mbar)左右，關(guān)閉增壓泵電源并接通試件控制系統(tǒng)電源,并將探頭安裝在密封容器的法蘭盤處。3.利用示差法判別泄露部位及大致位置尺寸;根據(jù)讀數(shù)可以判斷出泄漏率的大小。
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測和定位泄漏的儀器。它通過測量混合氣體中氦的濃度來檢測泄漏。該系統(tǒng)使用離子源產(chǎn)生高能離子，然后檢測這些離子在混合氣體中遇到氦的濃度，并通過計算來確定泄漏的位置。它廣泛應(yīng)用于航空航天、石油化工、電力和能源等領(lǐng)域，可以用來檢測和修復(fù)泄漏，提高生產(chǎn)和安全性。
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