氦質譜檢漏儀設備內芯制造借鑒國外技術，具有靈敏度高，反應快，開機時間短等特點，是一款液晶觸摸彩屏顯示的全自動氦質譜檢漏儀。檢漏時噴在漏孔處停留的時間應為儀器響應時間的3倍，該時間再加上氦氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時間，即為兩次噴氦的較小間隔時間，當然真空系統(tǒng)越龐大，該間隔時間也越長。檢漏儀高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
檢漏步驟為: 若步驟1和2均未檢出漏點，就要考慮各個真空泵性能的問題，首要檢查機械泵油、羅茨泵油是否缺少，如果泵油缺少會大大降低泵的抽氣性能，其次檢查機械泵的閥片,通過向機械泵排氣口噴吹氦氣來檢測其閥片的密封性。擴散泵油或擴散泵加熱器異常也會造成極限壓不合格。還應檢查真空計是否準確以及真空系統(tǒng)設計是否滿足技術要求。
因此,電力行業(yè)對高壓電氣設備及其配套產品在密封性能上要求極高，氦質譜正壓檢漏法。給被檢件內腔充入與設備工作壓力相同的氦氣,置入封閉容器中,將封閉容器與氫質譜檢漏儀連通，待氦質譜檢漏儀指示可檢時,被檢件內的氦分子在壓差的作用下通過漏孔進入設備內的質譜室，氦質譜檢漏儀經(jīng)過分析后自動指示出被檢件的漏率。氦質譜負壓檢漏法，將被檢件裝在氦質譜檢漏儀上，對被檢件抽真空，當達到檢漏儀的開檢壓力后，對被檢件漏點處噴氦氣，氦分子在壓差的作用下通過漏孔進入設備內的質譜室,氦質譜檢漏儀經(jīng)過分析后自動指示出被檢件的漏率
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