氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測(cè)設(shè)備，利用了氦氣的流動(dòng)性和質(zhì)量大于氮?dú)?、氧氣等氣體這一特性。
該系統(tǒng)的是He特性的性及N2-Ar混合物的配比關(guān)系，對(duì)于壓力范圍0.5~8大氣壓，在很小的泄露量下就能探測(cè)出來(lái)（小于1Pa·m3/s）。此外還配備了真空泵對(duì)測(cè)試工件進(jìn)行抽空處理，將工作空間的工作壓力降低到規(guī)定的要求參數(shù)值內(nèi)；電器控制系統(tǒng)負(fù)責(zé)整個(gè)試驗(yàn)過(guò)程的操作和調(diào)節(jié)控制；而示差式電路不但能根據(jù)被測(cè)樣品放出的低頻成分來(lái)校正測(cè)量結(jié)果而且還能使儀表具有自動(dòng)反吸功能。
真空箱氦檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測(cè)和測(cè)量真空容器內(nèi)氦氣泄漏的設(shè)備。它通過(guò)將氦氣充入真空容器內(nèi)，然后使用檢漏儀器對(duì)容器內(nèi)的氦氣進(jìn)行檢測(cè)，以確定容器是否存在泄漏。檢漏系統(tǒng)通常會(huì)使用一些先進(jìn)的技術(shù)和傳感器，例如光譜儀、電渦流傳感器等，這些技術(shù)和傳感器可以非常準(zhǔn)確地檢測(cè)出容器內(nèi)氦氣的泄漏量。真空箱氦檢漏系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于航空航天、電子、半導(dǎo)體、等領(lǐng)域，可以用于檢測(cè)和避免由于氦氣泄漏而導(dǎo)致的各種問(wèn)題，保障產(chǎn)品質(zhì)量和安全生產(chǎn)。
氦質(zhì)譜檢漏儀是一種用于檢測(cè)和測(cè)量容器和管道內(nèi)部氣體泄漏的儀器。它使用高能電離粒子轟擊氣體樣品，使其離子化，并通過(guò)質(zhì)譜儀測(cè)量離子的質(zhì)量，從而檢測(cè)出氣體的泄漏。該系統(tǒng)通常由氣體檢測(cè)器、質(zhì)譜儀、數(shù)據(jù)采集和處理系統(tǒng)等組成。檢漏儀可以檢測(cè)到微小的氣體泄漏，對(duì)于液體和氣體混合物的泄漏檢測(cè)也有較高的靈敏度。該儀器廣泛應(yīng)用于石油、化工、制藥、電力等行業(yè)，用于監(jiān)測(cè)和防止氣體泄漏事故的發(fā)生。
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