氦質(zhì)譜檢漏儀設(shè)備內(nèi)芯制造借鑒國外技術(shù)，具有靈敏度高，反應(yīng)快，開機時間短等特點，是一款液晶觸摸彩屏顯示的全自動氦質(zhì)譜檢漏儀。檢漏時噴在漏孔處停留的時間應(yīng)為儀器響應(yīng)時間的3倍，該時間再加上氦氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時間，即為兩次噴氦的較小間隔時間，當(dāng)然真空系統(tǒng)越龐大，該間隔時間也越長。檢漏儀高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
檢漏儀對示漏氣體的要求：在空氣環(huán)境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體，滿足檢漏靈敏度方面的要求，減少本底干擾檢測的準確性。氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)指標：1. 小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率顯圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦氣檢漏儀可對使用過程中產(chǎn)生的濃度不合格氦氣進行提純，極大降低氦氣損耗（功能可選）。
氦氣是較輕的惰性氣體，在噴出時會自動上升，為了準確找到漏孔位置噴氦，使用此方法時噴氦自上而下，由近至遠（相對檢漏儀的位置），這是因為在下方時有可能被上方漏孔吸入；質(zhì)譜檢漏儀之間使用金屬軟管連接。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)在校驗后使用并在檢漏期間每 1- 2 小時校驗。常用的傳統(tǒng)氣體管道檢漏方法，如氣泡法和肥皂法在化工廠等有害氣體的管道檢漏不實用，檢測到微漏的氦質(zhì)譜檢漏儀成為了化工廠安全生產(chǎn)作業(yè)的保障。
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