通過外部檢漏通常都會解決，但在多遍檢漏后問題若是仍然存在，我們就應(yīng)該考慮是否存在內(nèi)部漏點。筆者發(fā)現(xiàn)，內(nèi)漏大多來源于各種充氣閥。若要驗證，可以在閥門保持關(guān)閉的狀態(tài)下，將閥門的保護(hù)氣體一端法蘭打開- -縫隙，充入氦氣檢查是否漏氣，若不漏氣，再將閥門連接好后立即充入保護(hù)氣體到管路中，如果這時檢漏儀漏率值上升,那么就可以確定充氣閥泄漏是真空指標(biāo)不合格的原因。
油箱試驗件的細(xì)漏漏點采用正壓法檢測。試驗時，向油箱 試驗件內(nèi)部充入氦氣和壓縮空氣的混合氣體，使油箱內(nèi)部壓力大于外界大氣壓，如果有漏點存在，氦氣就通過漏點泄漏出來，用吸槍進(jìn)行探測，就能確定是否存在泄漏。檢測過程要保證在吸槍上加罩盒。一是為了防止環(huán)境中氦濃度過高，影響檢測;二是為了防止一大片的漏點同時泄漏，不能檢測到漏點的確切位置及單個漏點的漏率。檢測時，吸槍要沿著漏點緩慢移動，以便能夠檢測出漏源的準(zhǔn)確反應(yīng)值。
儀器工作在穩(wěn)定的狀態(tài)，在儀器的檢漏口噴一定量的氦氣， 分別采取持續(xù)抽、空氣清氦、氮氣清氦的清氦方式，儀器再按開始鍵，記錄清氦所需時間。而通過實驗表明，利用氮氣來清氦的效率是高的。 鑒于儀器在檢漏的過程中氮氣清氦的優(yōu)越性，對儀器的系統(tǒng)進(jìn)行改進(jìn)。增加清氦電磁閥。在氦質(zhì)譜檢漏儀中增加氮氣清洗設(shè)置，有效的避免了在檢漏過程中，氦氣殘留對儀器檢測靈敏度的影響，另外儀器控制中還可以增加大漏保護(hù)設(shè)置，即儀器在檢測到大漏時，儀器自動停止，防止大量氦氣再進(jìn)入儀器中。再者將前級泵換成干泵也是不錯的選擇，利于對儀器的清氦，保證儀器檢測的高靈敏度。
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