通過(guò)外部檢漏通常都會(huì)解決，但在多遍檢漏后問(wèn)題若是仍然存在，我們就應(yīng)該考慮是否存在內(nèi)部漏點(diǎn)。筆者發(fā)現(xiàn)，內(nèi)漏大多來(lái)源于各種充氣閥。若要驗(yàn)證，可以在閥門(mén)保持關(guān)閉的狀態(tài)下，將閥門(mén)的保護(hù)氣體一端法蘭打開(kāi)- -縫隙，充入氦氣檢查是否漏氣，若不漏氣，再將閥門(mén)連接好后立即充入保護(hù)氣體到管路中，如果這時(shí)檢漏儀漏率值上升,那么就可以確定充氣閥泄漏是真空指標(biāo)不合格的原因。
氦質(zhì)譜檢漏儀用于對(duì)容器或器件的密封性進(jìn)行檢測(cè)，對(duì)被檢件泄漏點(diǎn)進(jìn)行定性、定量和定位的檢測(cè)。儀器利用內(nèi)置的真空系統(tǒng)，將被檢氣體抽入到儀器內(nèi)部，然后將該混合氣體離化，并將離子加速送入磁場(chǎng)當(dāng)中，利用帶電離子在磁場(chǎng)中的偏轉(zhuǎn)效應(yīng)，使氦離子與其它離子分離，通過(guò)對(duì)此氦離子信號(hào)的接收、放大和顯示，從而反映出被測(cè)器件的密封性。
氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：冶金——真空電爐；低溫與壓力容器——液氮和液氦儲(chǔ)存罐、生物制品容器及各類(lèi)壓力容器；輕工產(chǎn)品——保溫杯、太陽(yáng)能集熱管、飲料罐口等。氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：電力工業(yè)——高壓開(kāi)關(guān)、避雷器、發(fā)電廠(chǎng)冷凝器系統(tǒng)；電力工業(yè)——電子器件、半導(dǎo)體、傳感器和積成電路；氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：原子能工業(yè)——?dú)怏w擴(kuò)散處理系統(tǒng)；高能物理研究院——及其配件；
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