氦質(zhì)譜檢漏儀是如何工作的? 氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、、真空系統(tǒng)、電子線路及其他電氣部分組成。為了方便解釋氦質(zhì)譜檢漏儀是如何工作的, 我們以磁偏轉(zhuǎn)型的氦質(zhì)譜檢漏儀為例進(jìn)行說明。 在質(zhì)譜室的離子源N內(nèi)，氣體被電離成離子。在電場作用下離子聚焦成東，并以-定的速度經(jīng)由縫隙S1進(jìn)入磁分析器，在均勻磁場的作用下，具有-定速度的離子束，將按圓形軌跡運(yùn)動(dòng)。調(diào)節(jié)加速電壓U使氦離子束M z恰能通過縫隙S2到達(dá)收集極K而形成離子流。利用弱電流量測設(shè)備，使之在輸出儀表與音響裝置上反映出來。而其他不同于M2的離子束則以不同的偏轉(zhuǎn)半徑而被分開。
主要檢測范圍包括下面一些設(shè)備 部件:凝汽器及相連的負(fù)壓系統(tǒng)，包括凝汽器與汽側(cè)相聯(lián)設(shè)備管道，有二級(jí)旁路、三級(jí)誠溫器、疏水?dāng)U容器、低加疏水、軸加疏水、空氣管道、給水泵密封水回水、真空破壞門、水位計(jì)等;低壓缸部分，包括低壓排汽、末級(jí)抽汽管道和加熱器部分，次末級(jí)抽汽管道和加熱器部分，低壓缸上方防爆膜及其結(jié)合面法蘭、低壓缸汽封以及接合面等:其他部分，包括真空壓力表頭、排汽缸溫度計(jì)套管、電接點(diǎn)水位計(jì)、疏水泵、凝結(jié)水泵機(jī)械密封等。
檢漏設(shè)備：質(zhì)譜檢漏儀之間使用金屬軟管連接。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)在校驗(yàn)后使用并在檢漏期間每 1- 2 小時(shí)校驗(yàn)。檢漏的方式是：鏈接被檢化工管道和真空泵組以及氦質(zhì)譜檢漏儀，用真空泵組把管道抽真空，達(dá)到一定真空度。氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：航空航天——燃料箱、油箱、及各種電機(jī)等；儀表制造——壓力傳感器、閥門、波紋管和密封焊接件等。
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