檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測管道或容器是否存在泄漏的系統(tǒng)。它通常包括一個檢測器，用于檢測周圍環(huán)境中的泄漏源，并將泄漏信號發(fā)送給操作員。檢漏系統(tǒng)可以在石油、化工、煤炭、電力等行業(yè)中廣泛應(yīng)用，以確保生產(chǎn)過程的安全和可靠性。
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測設(shè)備，其原理基于帶電粒子在磁場中的偏轉(zhuǎn)以及氣體分子對電磁輻射的吸收。該系統(tǒng)的部件是氦離子源和質(zhì)譜儀。
當(dāng)需要檢查的對象內(nèi)部存在微小壓力時，可以使用液態(tài)惰性氣體作為示蹤劑（例如：氦氣），通過管道進(jìn)入待測對象內(nèi)并被稀釋到很低濃度后從密封區(qū)域中逸出形成一定的背景放散率Rb。此時可以通過測量總釋放量Ra來判斷泄露是否發(fā)生，若Ra>Rb+ΔR且ΔR足夠小時則認(rèn)為發(fā)生了泄露[1]。
真空箱氦檢漏系統(tǒng)主要用于檢測電子元器件、設(shè)備或產(chǎn)品在運(yùn)行過程中是否出現(xiàn)泄漏現(xiàn)象。這種技術(shù)廣泛應(yīng)用于航空航天、汽車制造和電子產(chǎn)品等領(lǐng)域，以確保產(chǎn)品的安全性和可靠性符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求。
通過將待測物品放入真空氣氛的密封容器中并施加一定的壓力差（通常為10-3～5×10^-2Pa），使樣品內(nèi)部產(chǎn)生氣體流動導(dǎo)致氣密性差異；然后使用高靈敏度的激光雷達(dá)對容器的內(nèi)腔進(jìn)行掃描以測量任何形式的物質(zhì)遷移。利用接收到的信號可以計算出泄露物的密度和質(zhì)量流量以及聲速等重要參數(shù)。根據(jù)這些數(shù)據(jù)，用戶可以進(jìn)行產(chǎn)品質(zhì)量控制和分析維修等工作，或者找出造成事故的原因及過程，從而及時采取措施避免發(fā)生災(zāi)難性的后果。
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