消費(fèi)者應(yīng)用這種氦質(zhì)譜檢漏儀能夠從根本上保證這種產(chǎn)品擁有良好的應(yīng)用價(jià)值，在我國(guó)更多的產(chǎn)品漏率檢查之中原先更好的技術(shù)支持，因此氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)勢(shì)更保證了我國(guó)產(chǎn)品漏問(wèn)題檢查的質(zhì)量。檢漏儀全無(wú)油的干式檢漏：有些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果，為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。氦質(zhì)譜檢漏方法在真空檢漏技術(shù)領(lǐng)域里已經(jīng)得到廣泛的應(yīng)用,這種方法的優(yōu)點(diǎn)是:檢漏靈敏度高,可以檢漏到10 -11 Pam3 / s 數(shù)量級(jí),儀器響應(yīng)快,
油箱試驗(yàn)件的細(xì)漏漏點(diǎn)采用正壓法檢測(cè)。試驗(yàn)時(shí)，向油箱 試驗(yàn)件內(nèi)部充入氦氣和壓縮空氣的混合氣體，使油箱內(nèi)部壓力大于外界大氣壓，如果有漏點(diǎn)存在，氦氣就通過(guò)漏點(diǎn)泄漏出來(lái)，用吸槍進(jìn)行探測(cè)，就能確定是否存在泄漏。檢測(cè)過(guò)程要保證在吸槍上加罩盒。一是為了防止環(huán)境中氦濃度過(guò)高，影響檢測(cè);二是為了防止一大片的漏點(diǎn)同時(shí)泄漏，不能檢測(cè)到漏點(diǎn)的確切位置及單個(gè)漏點(diǎn)的漏率。檢測(cè)時(shí)，吸槍要沿著漏點(diǎn)緩慢移動(dòng)，以便能夠檢測(cè)出漏源的準(zhǔn)確反應(yīng)值。
檢漏儀對(duì)示漏氣體的要求：在空氣環(huán)境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體，滿足檢漏靈敏度方面的要求，減少本底干擾檢測(cè)的準(zhǔn)確性。氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)指標(biāo)：1. 小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率顯圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦氣檢漏儀可對(duì)使用過(guò)程中產(chǎn)生的濃度不合格氦氣進(jìn)行提純，極大降低氦氣損耗（功能可選）。
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