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質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子，在室內(nèi)來(lái)回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)入室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)入磁場(chǎng)，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到僅對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦氣檢漏儀特有的清氦系統(tǒng)，快速有效地清除超標(biāo)的氦本底，保證檢測(cè)的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性；實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)氦氣壓力和濃度，保證了工件檢測(cè)的精度；

真空檢漏的具體方法 為了方便說(shuō)明真空檢漏方法,我們以真空爐為例進(jìn)行真空檢漏。真空爐主要由機(jī)械泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵、前級(jí)管路、爐體等幾部分組成。真空爐的生產(chǎn)中為常見(jiàn)問(wèn)題是極限壓力合格，而升壓率不合格，或者是兩者都不合格，比較少見(jiàn)的是升壓率合格但極限壓力不合格。 (1)極限壓力合格,升壓率不合格 極限壓力合格說(shuō)明設(shè)備沒(méi)有明顯漏點(diǎn)，且真空系統(tǒng)的抽氣性能正常。升壓率不合格，主要原因是從粗抽閥到爐體有-些較小的漏點(diǎn)，通常在1x10-9~9.9x104pa.m3/s之間。

為了避免串液故障發(fā)生，需要對(duì)導(dǎo)流區(qū)域和二道密封區(qū)域進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏。 采用真空法進(jìn)行檢漏時(shí)，采用水環(huán)泵、旋片泵、不銹鋼波紋管、球閥、節(jié)流閥組建真空系統(tǒng)。首先使用水環(huán)泵抽真空，然后充入氮?dú)猓俅问褂盟h(huán)泵抽真空，反復(fù)幾次對(duì)換熱器內(nèi)部抽出水蒸氣和粉塵。使用工業(yè)吸塵器對(duì)換熱器外表面除塵和干燥。使用旋片泵抽真空和氮?dú)庵脫Q的方式對(duì)換熱器內(nèi)部進(jìn)一步干燥。干燥后在管熱管抽真空后，在的漏點(diǎn)噴氦氣，觀察氦檢儀顯示情況。對(duì)漏點(diǎn)進(jìn)行堵漏。