氦檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測(cè)產(chǎn)品中是否存在微小泄漏的設(shè)備。其工作原理主要是基于氣體超聲波流量計(jì)的工作模式，通過(guò)向被測(cè)介質(zhì)施加高頻聲信號(hào)并記錄回響來(lái)測(cè)量介質(zhì)的流動(dòng)情況。當(dāng)有泄露發(fā)生時(shí)，就會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的壓力波動(dòng)，這些變化會(huì)經(jīng)過(guò)一些復(fù)雜的處理過(guò)程轉(zhuǎn)化為電信號(hào)輸出來(lái)實(shí)現(xiàn)終的診斷結(jié)果分析。
具體來(lái)說(shuō)，該系統(tǒng)的組成部分包括傳感器、前置器與顯示器等幾個(gè)部分：首先，傳感器負(fù)責(zé)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)氣體的壓強(qiáng)和流速；其次，需要將實(shí)時(shí)的數(shù)據(jù)信息進(jìn)行轉(zhuǎn)換放大后輸送給后續(xù)的前置器進(jìn)行處理;由顯示屏對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)和分析得出具體的判斷結(jié)論。整個(gè)過(guò)程的操作都是自動(dòng)完成的,不需要人工干預(yù)和處理.簡(jiǎn)而言之就是利用頻率響應(yīng)的方式識(shí)別出因受載而產(chǎn)生的體積漲落的特征光譜及其位置移動(dòng)現(xiàn)象來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)于整體容器的狀態(tài)評(píng)估。
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測(cè)設(shè)備，主要用于真空環(huán)境中微小質(zhì)量的測(cè)量。其原理是利用高速流動(dòng)的惰性氣體（氦氣）與樣品接觸時(shí)產(chǎn)生的壓力變化來(lái)探測(cè)樣品的泄露情況。當(dāng)有物質(zhì)從密封容器中逸出時(shí)，會(huì)造成局部環(huán)境的改變，這種改變可以通過(guò)安裝在容器的進(jìn)出口上的傳感器進(jìn)行監(jiān)測(cè)和分析，從而判斷是否存在漏洞。
該系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)在于具有極高的分辨率和選擇性，適用于各種類型的材料、工藝條件下的質(zhì)量監(jiān)控；同時(shí)能夠快速響應(yīng)并準(zhǔn)確識(shí)別微量至亞毫克級(jí)別的泄漏信號(hào)。然而需要注意的是，由于操作過(guò)程中存在大量的物理參數(shù)影響結(jié)果分析，因此在實(shí)際應(yīng)用時(shí)應(yīng)充分考慮環(huán)境因素對(duì)測(cè)試結(jié)果的干擾程度并進(jìn)行適當(dāng)?shù)男拚幚?/p>
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測(cè)設(shè)備，其原理基于帶電粒子在磁場(chǎng)中的偏轉(zhuǎn)以及氣體分子對(duì)電磁輻射的吸收。該系統(tǒng)的部件是氦離子源和質(zhì)譜儀。
當(dāng)需要檢查的對(duì)象內(nèi)部存在微小壓力時(shí)，可以使用液態(tài)惰性氣體作為示蹤劑（例如：氦氣），通過(guò)管道進(jìn)入待測(cè)對(duì)象內(nèi)并被稀釋到很低濃度后從密封區(qū)域中逸出形成一定的背景放散率Rb。此時(shí)可以通過(guò)測(cè)量總釋放量Ra來(lái)判斷泄露是否發(fā)生，若Ra>Rb+ΔR且ΔR足夠小時(shí)則認(rèn)為發(fā)生了泄露[1]。
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