蘇州氦檢漏儀器是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術中靈敏度高,用得普遍的檢漏儀器。下面小編就來和大家簡單的說說當儀器內部出現問題該怎么解決。

1.內部的密封結構當檢漏儀內部存在泄漏時,會對檢漏工作造成較大干擾,容易造成誤檢、誤判。檢漏儀內部主要的密封部位在檢漏儀的后側,位于隔熱板的上方:
①檢漏儀測試口與閥門組塊的連接部位,密封方式采用膠灌密封,檢漏儀在運輸過程中如遇到強烈震動,此處容易造成密封膠開裂。
②各電磁閥與閥門組件間的連接部位。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封,橡膠圈的密封壽命有限,使用5年以上時,有可能會存在密封失效的問題。
③各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。
2.定位方法采用噴吹法對各密封部位的氣密性進行檢測,因檢漏儀內部結構緊湊,各密封結構間的距離很近,檢測時定位難度較大。經摸索,在檢測時采用以下技巧,可提高定位的能力:
①查漏前,先將分子泵風扇的電源斷開,避免風扇將氦源吹散至各個密封環(huán)節(jié),造成定位不準確。
②噴吹時,要嚴格控制氦源的流量,盡量采用噴槍咀流量小的噴槍,提高定位的能力。
③儀器的反應時間小于1s,所以在一個部位噴吹的時間約3s,再等待約3s后觀測信號有無變化。
3.處理方法不同的密封部位出現泄漏采用不同的處理方法。
①檢漏接口與閥門組塊的連接部位有漏,可先采用灌膠密封處理,若密封性仍不能滿足要求,需從廠家購買新品進行更換。
②電磁閥與閥門組塊間的密封圈有漏,則對密封圈進行更換,并先用無水乙醇將密封面、密封圈清洗干凈,且勿在密封圈表面涂抹凡士林或真空脂(這些材料在真空條件下放氣,會影響儀器本底)等密封添加劑。
③各零部件間的密封一般也采用橡膠圈密封,若有漏,更換密封圈即可。注意事項同上。
④真空計的探針與其外殼間采用密封膠密封,該密封環(huán)節(jié)在檢測時極易被忽視,此處若有漏可先進行灌膠處理,但探針間距很小,可操作空間有限,若灌膠后密封效果不佳,則從廠家購買新品進行更換。