氦檢漏儀又稱質(zhì)譜檢漏儀，是用來(lái)確定和測(cè)量進(jìn)入系統(tǒng)或容納設(shè)備的泄漏量。通過(guò)與檢漏儀連接的試驗(yàn)部件將氦氣注入。一個(gè)氦氣經(jīng)過(guò)測(cè)試后進(jìn)入系統(tǒng)，然后測(cè)量這個(gè)壓力，然后在儀器上顯示出結(jié)果。
氦檢漏儀包括下列部分：
1.用來(lái)檢測(cè)氦質(zhì)量的分光計(jì)。
2.用來(lái)保持分光計(jì)壓力的真空系統(tǒng)。
3.機(jī)械泵抽取待測(cè)零件。
4.對(duì)各種檢測(cè)階段的閥門提供支持：抽真空、試驗(yàn)和排放。
5.放大器和讀出儀表，用來(lái)監(jiān)測(cè)輸出信號(hào)。
6.動(dòng)力與控制。
7.要測(cè)試的部件與探測(cè)器的夾具相連。
氦檢漏儀器氣密性測(cè)試儀是根據(jù)差壓的變化，測(cè)得工件的具體泄漏量，判斷被測(cè)工件是否合格，并將這些信息傳遞給運(yùn)行人員。由于標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品與被測(cè)工件形狀，大小相同，且在檢測(cè)過(guò)程中，兩端的外部環(huán)境條件完全相同，因此此試驗(yàn)方法可消除溫度、振動(dòng)等環(huán)境因素的影響，獲得較高精度的測(cè)量結(jié)果。
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